はじめに
近年のナノテクノロジーの発展に見られるように、超微細加工の分野は、飛躍的な進歩をしている。それに伴い、マイクロリアクター、MEMS
(Micro Electro Mechanical Systems),μ-TAS(Micro
Total Analysis Systems)の開発も盛んに行われている。MEMSは、日本ではマイクロマシンと呼ばれ、半導体集積回路の製作技術を代表とする微細加工技術により、マイクロエレクトロニクスとメカニズムを融合させたシステムを目指しており、この技術のバイオテクノロジー分野への応用がバイオMEMSである。
現在、このバイオMEMSは、バイオ分野の中で様々な方面で実用化され、更なる研究開発が行われている。本報では、生体物質の誘電率の差を利用した誘電泳動現象に基づくバイオMEMSの開発に関する研究を紹介する。
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